微系统是指 由微米级或纳米级尺度的器件、结构和系统组成的集成系统。它集成了微电子、微机械（或光学、化学、生物等方面的微元件），以微米尺度理论为基础，通过批量化的微电子技术和三维加工技术制造，用以完成信息获取、处理及执行的功能。微系统的核心是微机电系统（MEMS），它是融合微机械工程、电子学和计算机技术的交叉学科，构成了微型机械系统、微传感器、微执行器等微系统。微系统具有小体积、低成本、低功耗、高性能和高可靠度的特点，广泛应用于军事、交通、通讯、医疗、家庭家电、服装、制造等行业。