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真空系统如何测试漏气率

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测试真空系统漏气的方法有多种,以下是一些常用的方法:

观察法

使用肉眼仔细观察真空系统中是否有漏气迹象,例如听到气体流动声音、气泡聚集等情况。

气体探测仪法

使用气体探测仪或泡沫剂检查系统的连接点和密封处是否有气体泄漏。

真空计法

通过观察真空系统的压力表或真空计的读数来判断是否存在漏气情况。

压力测试

将系统加压至一定压力并观察压力是否下降,如果压力下降,则说明存在漏气问题。

气压差法

将真空系统分为两个部分,使用压力表测量两个部分的气压差。如果气压差随时间增加,即表示存在泄漏。

渗透法

在真空系统中注入稳定的气体,并测量真空系统中气体压力的变化。如果压力随时间增加,则表示存在泄漏。

荧光检漏法

在真空系统中加入荧光探剂,利用紫外光检测荧光信号,从而判断是否存在泄漏。

高频火花检漏法

适用于玻璃真空系统,通过高频火花检漏仪的火花端沿着玻璃表面移动,火花集中成束形成亮点处即是漏孔位置。

放电管检漏法

将放电管接到系统上,并将系统抽成中真空,在高频电压作用下系统中残存气体(空气)产生紫红色或玫瑰色辉光放电,从而确定漏孔位置。

超声波仪器检漏法

利用超声波检测仪检测气体通过泄漏点时产生的湍流信号,从而判定漏气位置。

肥皂水测试

对外部气路连接部位(如气瓶减压阀、管路接口)涂上肥皂水,观察是否有气泡生成。

听音检测

在关掉环境噪声后,逐一接近气路连接部位,倾听是否有“嘶嘶”声。

质谱仪背景气体峰确认

通过质谱仪观察氮气(N₂, m/z=28)和氧气(O₂, m/z=32)的峰强度,如果这些空气成分的峰值异常高,则可能存在漏气。

氦气检漏仪

使用氦气作为示踪气体,在真空系统外部喷氦,通过检漏仪的吸枪在有可能漏的地方吸气,如果检测到氦气就可以确定漏点。

根据具体的真空系统类型和条件,可以选择合适的方法进行漏气检测。建议首先使用简单的观察法和气体探测仪法进行初步检测,然后根据情况选择更为精确的检测方法,如质谱仪法或氦气检漏仪法,以确保检测的准确性。